COBRA DS 0080/0160 G干式螺桿真空泵
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摘要
COBRA DS 0080/0160 G 干式螺桿真空泵 —— 潔凈真空解決方案 專為高潔凈、無油需求場景設(shè)計(jì)的 COBRA DS 0080/0160 G 干式螺桿真空泵，采用無油螺桿技術(shù)，避免油污染，是半導(dǎo)體、制藥、食品、電子等行業(yè)的理想選擇。其核心優(yōu)勢顯著：抽氣速率達(dá) 80-160 m3/h，極限壓力低至≤1 Pa，可應(yīng)對真空干燥、鍍膜、物料輸送等工藝；結(jié)構(gòu)緊湊節(jié)省空間，運(yùn)行穩(wěn)定噪音低，維護(hù)便捷更省心。符合 GMP 及食品級潔凈標(biāo)準(zhǔn)，搭配售后團(tuán)隊(duì)，確保設(shè)備長期運(yùn)行。立即咨詢，獲取專屬真空解決方案！
產(chǎn)品介紹
COBRA DS 0080/0160 G干式螺桿真空泵
技術(shù)規(guī)格
ISO 50 HzISO 60 Hz
尺寸圖
COBRA DS 0080/0160 G
抽速
空氣溫度為 20°C 時(shí)， 公差：± 10%
市場和應(yīng)用
半導(dǎo)體應(yīng)用
金屬和高 K 蝕刻
LPCVD / 擴(kuò)散
ALD
PECVD
Si Poly etch
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